全 稱 三乙基氯矽烷
英文全稱 Triethylchlorosilane
C A S 994-30-9
EINECS 213-615-6
分 子 式 C6H15ClSi
分 子 量 150.72
性 狀：無色或淡黃色液體
含 量（GC，%）：≥99.0
密 度(P20, g/cm3)：0.896
折光率(nD20)：1.4300-1.4320
閃 點(℃)：30
沸 點(℃)：144
有機合成保護劑。
鋼塑桶充氮密閉包裝，淨重160公斤；
常溫貯存，貯存期12個月，禁火、通風、幹燥；
嚴禁雨淋、日光曝曬，按危化品運輸。